奧林巴斯OLS5100激光共聚焦顯微鏡

適用于故障分析和材料工程研究的奧林巴斯OLS5100激光顯微鏡將測量精度和光學性能與智能工具相結合,讓顯微鏡更加方便使用。通過快速高效精確測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數據簡化您的工作流程。

  • 品牌: 奧林巴斯/OLYMPUS
  • 型號: OLS5100
  • 類型: 金相顯微鏡

LEXT? OLS5100 3D激光掃描顯微鏡

用于材料分析的激光顯微鏡

更智能的工作流程,更快速的實驗設計

適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測量精度和光學性能與智能工具相結合,讓顯微鏡更加方便使用。通過快速高效精確測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數據簡化您的工作流程。

奧林巴斯顯微鏡

保證測量準確度

LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準確的測量數據。與智能物鏡選擇助手(Smart Lens Advisor)搭配使用,就可獲得可靠的高精度數據。

有保證的測量準確度*

奧林巴斯的光學器件能夠以更低像差在整個視場中捕捉樣品的真實形貌

智能物鏡選擇助手(Smart Lens Advisor)還可幫助您選擇合適的物鏡進行粗糙度測量

奧林巴斯顯微鏡


*本網頁上包括保證的準確度在內的信息基于奧林巴斯設定的條件。



型號OLS5100-SAFOLS5100-SMFOLS5100-LAFOLS5100-EAF
總倍率54x–17,280x
視場16 μm–5,120 μm
測量原理光學系統反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡
顏色
彩色DIC
光接收元件激光:光電倍增管(2通道)
彩色:CMOS彩色相機
高度測量顯示分辨率0.5 nm
動態范圍16位
重復性σn -1*1 *2 *55X:0.45 μm, 10X:0.1 μm, 20X:0.03 μm, 50X:0.012 μm, 100X:0.012 μm
準確度*1 *3 *50.15 + L / 100μm(L:測量長度[μm])
拼接圖像準確度*1 *3 *510X:5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm])
測量噪聲(Sq噪聲)*1 *4 *51 nm(典型值)
寬度測量顯示分辨率1 nm

重復性3σn-1  *1 *2 *55X:0.4 μm, 10X:0.2 μm, 20X:0.05 μm, 50X:0.04 μm, 100X:0.02 μm

準確度*1 *3 *5測量值+/- 1.5%

拼接圖像準確度*1 *3 *510X:24+0.5L μm, 20X:15+0.5L μm, 50X:9+0.5L μm, 100X:7+0.5L μm (L:拼接長度[mm])
單次測量時最大測量點數量4096 × 4096像素
最大測量點數量3600萬像素
XY載物臺配置長度測量模塊?不適用不適用?
工作范圍100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動
最大樣品高度100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)30 mm (1.2 in.)30 mm (1.2 in.)210 mm (8.3 in.)
激光光源波長405 nm
最大輸出0.95 mW
激光等級2級(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014)
彩色光源白光LED
電氣功率240 W240 W278 W240 W
質量顯微鏡主體約 31 kg約 32 kg約 50 kg約 43 kg
控制箱約 12 kg



*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規定的恒溫恒濕環境下使用時提供保證(溫度:20?C±1?C,濕度:50%±10%),如ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)所規定。

*2 在使用MPLAPON LEXT系列物鏡測量時倍率20x或更高。

*3 在使用專用LEXT物鏡測量時。

*4使用MPLAPON100XLEXT物鏡測量時的典型值。

*5 基于奧林巴斯認證系統下的保證。


物鏡

系列型號數值孔徑
(NA)
工作距離(WD)
(mm)
UIS2物鏡MPLFLN2.5x0.0810.7
MPLFLN5x0.1520
專用LEXT物鏡(10X)MPLFLN10xLEXT0.310.4
專用LEXT物鏡(高性能型)MPLAPON20xLEXT0.61
MPLAPON50xLEXT0.950.35
MPLAPON100xLEXT0.950.35
專用LEXT物鏡(長工作距離型)LMPLFLN20xLEXT0.456.5
LMPLFLN50xLEXT0.65.2
LMPLFLN100xLEXT0.83.4
超長工作距離物鏡SLMPLN20x0.2525
SLMPLN50x0.3518
SLMPLN100x0.67.6
適用于LCD樣品的長工作距離物鏡LCPLFLN20xLCD0.458.3-7.4
LCPLFLN50xLCD0.73.0-2.2
LCPLFLN100xLCD0.851.2-0.9


應用軟件


標準軟件OLS51-BSW
數據采集app分析應用程序(簡單分析)
電動載物臺套件應用*1OLS50-S-MSP
高級分析應用*2OLS50-S-AA
薄膜厚度測量應用OLS50-S-FT
自動邊緣測量應用OLS50-S-ED
顆粒物分析應用OLS50-S-PA
智能實驗管理助手應用OLS51-S-ETA
球體/圓柱體表面角度分析應用OLS50-S-SA

*1包括自動拼接數據采集和多區域數據采集功能。

*2包括輪廓分析、差值分析、臺階高度分析、表面分析、面積/體積分析、線粗糙度分析、面粗糙度分析和直方圖分析。

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